品牌LAM RESEARCH
型号15130-2-B-1650346
产地美国
服务地区全国
质保六个月
射频匹配器的使用价值是稳定生产工艺环境、产品质量，如对于太阳能电池生产等离子刻蚀工艺，可以过刻蚀及欠刻蚀：刻蚀的均匀性，提高电池转换效率0.1％；过刻蚀硅片面积因而单位面积的功率1％；减少返工，降低硅片的破损损耗，硅片使用率1％。
射频匹配器是把来自高功率RF信号发器的13.56MHz的能量耦合到一个负载上去，比如一个加工室，这个负载是一个可变的阻抗，其阻抗是随着加工室中加工的运作而变化的；RF匹配器自动检测这个负载的情况，通过调整它内部的调谐元件的位置使被耦合到加工室里的功率很大，当然，这样反射回RF信号发生器的功率也就很小。
射频匹配器的作用是将13.56MHZ的信号从高功率射频发生器耦合到负载，如腔体，这个负载的特点是它的阻抗随腔体中运行过程的参数而变化的；射频匹配器检测腔体负载的状态，调节可变电容和可变电感的位置，以提供很大功率给腔体，也就是说，反射回到射频发生器的功率很小化了。
在传输路径中，RF功率分成两部分：传输功率(Pf)和反射功率（Pr)，理想状态是Pr / Pr的比值高，只要信号源和负载的阻抗匹配，就可以达到理想状态，RF匹配器的目的就是通过适当地调整调谐元件以改变阻抗，使负载与RF信号源产生匹配，射频(RF)匹配器的目的就是通过适当地调整调谐元件以改变阻抗，使负载与射频(RF)信号源产生匹配，射频匹配器的作用是将负载的阻抗匹配成与射频电源及传输线一样的阻抗，从而达到电源的有效功率传输。
射频匹配器的性能要求如下:
1、检测板巾，从射频发生器出来的信号其传输功率在0~1000W之间，其反射功率也在0-1000w之间；
2、控制板中，从射频发生器出来的传输信号的电压在-12~~+12V之间，其反射信号在0~~0.5V之间；
3、电源有严格的电压输入值；
4、可变电感调谐的预设置为-5V～+5V(5)可变电感调谐电位器设置为-12V～+12V；
6、在组装这样的匹配器时，在注意很多关键步骤。如可变电容的叶片和可变电感电感刀片系统的结构原理。
射频匹配器是根据用户负载的变化而调节自己的参数（电感与电容）达到阻抗匹配的目的，以减少反射的目的，射频匹配器减少射频电源反射对环境造成的不利影响，利于实现对企业的要求；射频匹配器用于采用高频单激发的等离子体化学气相淀积设备、等离子体喷涂设备、等离子体刻蚀设备、反应离子刻蚀机、等离子体去胶机、等离子体清洗机等感性及容性输出负载的等离子体设备。
我们公司秉承“顾客至上，锐意进取”的经营理念，坚持“客户至上，信誉为本”的原则为广大客户提供优良安全的服务！“以人为本，诚实做人，诚信做事”是我们的做事准则！
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