产品ARTESYN
型号N1204-1XXX
产地美国
服务地区全国
质保六个月
主要维修 AE( Advanced Energy) 、 ENI ( MKS )等 RF 射频电源及直流电源 。
PDP 2500 、 PEP 2500 、 PEP 5000
Dressler LFGS:LFGS 1250A 、 LFGS:LFGS 1250D
PDX : PDX 500 、 PDX 1400 、 PDX 2500 、 PDX 5000
PE: PE 1000 、 PE 2500 、 PE 3750 、 P E-20K
Ion Beam Drive : ID-3500 、 IT-3500
服务范围:刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统,
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